日本ulvac熱陰極電離真空計SH200-A/R/E

更新日期：2024-05-16

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簡要描述：

日本ulvac熱陰極電離真空計SH200-A/R/E
可連接不同量程的接點：采用多離子規(guī)，可根據(jù)應用選擇接點。

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產(chǎn)品介紹

日本ulvac熱陰極電離真空計SH200-A/R/E

這是一個新系列的換能器型真空計“G-TRAN系列多離子計"，可以連接不同測量范圍的探針。本產(chǎn)品為BA型電離真空計，可測量超高真空。在繼承傳統(tǒng)壓力測量范圍寬、運行成本低的理念的同時，我們對其進行了改進，使其更加人性化。

特征

可連接不同量程的接點：采用多離子規(guī)，可根據(jù)應用選擇接點。
緊湊：比傳統(tǒng)產(chǎn)品小得多（控制器體積減少 56%），最小的級別
提高可用性：PC/智能手機連接可實現(xiàn)設定點設置、狀態(tài)確認等。
產(chǎn)品陣容增強：除了模擬輸出規(guī)格（SH200-A）和串行通信規(guī)格（SH200-R）之外，還將增加EtherCAT規(guī)格（SH200-E）
燈絲壽命通知功能：燈絲功率監(jiān)控可提前通知燈絲壽命
壓力測量范圍廣：可測量從大氣壓到高真空范圍（1 x 10 ⁺⁵至 5 x 10 ^-8 Pa）（連接可選單元 SWU10-R 時）
精確的大氣壓測量：可以檢查腔室開口的大氣壓（連接可選單元 SAU 時）

用途

用于半導體和電子元件等各種制造設備的高真空區(qū)域的過程控制
用于檢查具有許多工藝室的各種制造設備的高真空區(qū)域的極限壓力，例如在線和單晶片系統(tǒng)。
用于高真空/超高真空設備的壓力測量

日本ulvac熱陰極電離真空計SH200-A/R/E

規(guī)格

模型		SH200-A	SH200-R	SH200-E（預定發(fā)布）
規(guī)格		標準規(guī)格	串行通信規(guī)范	EtherCAT 規(guī)格
自適應多離子規(guī)傳感器		M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070)
可連接傳感器		多離子規(guī)傳感器：1 個皮拉尼規(guī) SWU10-R：1 個（選項）大氣壓傳感器 SAU：1 個（選項）
重復性 (N ₂ )		SH200 獨立模式：±2%
采樣時間		60ms 5次移動平均處理
測量值輸出		輸出電壓 DC 0 至 10V LOG 輸出 0.75V/1 位壓力轉(zhuǎn)換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新時間		60毫秒
控制輸入信號		使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集電極開路輸入、負邏輯操作 * FIL ON/OFF 信號使用因模式而異	-	-
控制輸出信號		傳感器錯誤，設定點 1/2/3，發(fā)射有效，燈絲功率監(jiān)控額定值：24V _MAX，50mA _MAX，飽和電壓 1V	-	-
串行通信規(guī)范		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED顯示屏		POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化）
		SET1：設定點1 LED SET2：設定點 2LED SET3：設定點 3LED	-	-
發(fā)射電流		1mA（1×10 ^-3 Pa以下）、10μA（1×10 ^-3 Pa以上）
脫氣		電子轟擊法（電子轟擊）1mA，330V
傳感器耐壓		2×10 ⁺⁵ Pa（壓力） *法蘭和卡箍的承受壓力必須單獨考慮。
傳感器內(nèi)部容積		17cm3 ^（ M-44）、19cm3 ^（ M-45）、17cm3 ^（ M-46）
工作溫度限制		10 至 50°C
工作濕度范圍		15 至 80%（無冷凝）
貯存溫度		-20 至 65°C（未通電時無冷凝）
知識產(chǎn)權(quán)保護等級		IP30
電源電壓		20 至 28 VDC（紋波、噪聲 1% 或更低）、8 W 或更低
輸入/輸出連接器		D-sub 15針（M2.6螺絲）
大量的		控制器：約 280g 探頭（M-44，M-45）：80g，（M-46）：300g
尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm（控制器部分）
符合標準		行政長官
選項	多離子計傳感器	M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070) 材質(zhì)：燈絲 1,2 -Ir/Y ₂ O ₃涂層其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar glass、Kovar/Ni電鍍
	皮拉尼規(guī)	SWU10-R *也兼容傳統(tǒng) SPU
	皮拉尼壓力傳感器	SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端) 材質(zhì)：燈絲-Pt，其他- BS/Ni、電鍍、鎳、焊料
	大氣壓傳感器	SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L
	單元電纜	GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m
	顯示單元	1CH：ISG1（使用DC24V供電）
	顯示單元電纜	SH200 和顯示單元之間的電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
	連接器	輸入/輸出連接器（D-sub15-socket（M2.6mm螺絲））
	其他	檢驗報告、一般校準測試報告、JCSS校準證書